仪器分类
全部 图形工艺 薄膜沉积工艺 刻蚀工艺 键合工艺 封装测试 热处理工艺 可靠性设备 谱学分析 检测设备 清洗工艺 设计平台
所属单位
全部 电子科学与技术学院
预约模式
全部 按时预约 项目委托

全自动热原子层沉积系统

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Polaris A630
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C102

12英寸原子层沉积设备 (未知用户)

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-300D
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C102-2

微波等离子体化学气相沉积系统 (未知用户)

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TL7501
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C102-2

手套箱

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:STX-1800,1600;Super
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C101

手套箱

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:STX-1800,1600;Super
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C101

等离子深硅刻蚀机 (戴彬)

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:HSE M200
  • 放置房间号:文宣楼C406-4洁净室

离子刻蚀机RIE1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE3

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE4

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机ICP

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:ICP-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

激光诱导蚀刻玻璃成形机

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TGV-G6000
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C102-2

玻璃通孔湿法刻蚀机 (于宸)

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:GMC-E300
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C106

晶圆级键合机

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:键合工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:EVG510
  • 放置房间号:文宣楼C406-5洁净室

高精度三维封装倒装焊机 (林锦亮)

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:键合工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SAB8300 CW
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C102-2