仪器分类
全部 光刻工艺 薄膜沉积工艺 刻蚀工艺 封装测试 热处理工艺 C102-2 谱学分析 检测设备 清洗工艺 设计平台
所属单位
全部 电子科学与技术学院
预约模式
全部 按时预约 项目委托

等离子深硅刻蚀机

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:HSE M200
  • 放置房间号:文宣楼C406-4洁净室

离子刻蚀机RIE1 (戴彬)

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE2 (戴彬)

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE3 (戴彬)

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE4 (戴彬)

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机ICP

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:ICP-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

激光诱导蚀刻玻璃成形机(配套冷水机、蚀刻...

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TGV-G6000
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C102-2

玻璃通孔湿法刻蚀机

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:GMC-E300
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C106

精密砂轮划片机1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装测试
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:DS616
  • 放置房间号:文宣楼C202-5洁净室

精密砂轮划片机2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装测试
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DS616
  • 放置房间号:文宣楼C202-5洁净室

化学机械抛光机

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装测试
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:GX-468
  • 放置房间号:文宣楼C202-5洁净室

晶圆级键合机 (戴彬)

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装测试
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:EVG510
  • 放置房间号:文宣楼C406-5洁净室

硅片减薄机1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装测试
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:FD-150
  • 放置房间号:文宣楼C202洁净室

硅片减薄机2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装测试
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:FD-150
  • 放置房间号:文宣楼C202洁净室

超声波压焊机1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装测试
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Eagle
  • 放置房间号:文宣楼C406洁净室