账号登录

注意：本平台为互联网非涉密平台，严禁处理、传输国家秘密。
仪器设备

FIB-SEM双束聚焦扫描电镜系统

电子科学与技术学院

晶圆级键合机

电子科学与技术学院

化学机械抛光机

电子科学与技术学院

氧化扩散炉1

电子科学与技术学院

快速退火炉1

电子科学与技术学院

等离子深硅刻蚀机

电子科学与技术学院

离子刻蚀机ICP

电子科学与技术学院

磁控溅射台（PVD）1

电子科学与技术学院

原子层沉积机PE-ALD

电子科学与技术学院

超高分辨材料沉积喷墨打印机

电子科学与技术学院