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365nmLED紫外光刻机 2 （李明泼）

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:Lithography-100
  • 放置房间号:文宣楼C406实验室2

365nmLED紫外光刻机 1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:Lithography-100
  • 放置房间号:文宣楼C406实验室2

高精密双面对准光刻机 1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:G-33D6
  • 放置房间号:文宣楼C406实验室2

高精密双面对准光刻机 2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:G-33D6
  • 放置房间号:文宣楼C406实验室2

365nmLED紫外光刻机 3

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Lithography-100
  • 放置房间号:文宣楼C406实验室2

365nmLED紫外光刻机 4

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Lithography-100
  • 放置房间号:文宣楼C202洁净室1

365nmLED紫外光刻机 5

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Lithography-100
  • 放置房间号:文宣楼C202洁净室1

MA/BA8 Gen4光刻机 （李明泼）

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:MA/BA8 Gen4
  • 放置房间号:文宣楼C202洁净室1

匀胶显影机

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:----
  • 规格型号:显影单元，EZ6-S匀胶单元，HP10烤胶单元
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C406

磁控镀膜溅射台

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD
  • 放置房间号:文宣楼C406洁净室

原子层沉积机T-ALD1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-150D
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

超高分辨材料沉积喷墨打印机

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SIJ-350
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C406

原子层沉积机T-ALD2 （谭颖玲）

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-150DO
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

原子层沉积机T-ALD3

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-150DB0
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

原子层沉积机T-ALD4

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-150DBN
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室