离子刻蚀机RIE３

  • 仪器分类：刻蚀工艺
  • 所属单位：校内 > 电子科学与技术学院
  • 放置房间号：文宣楼C202-2洁净室
  • 规格型号：RIE-100
  • 仪器生产商：嘉兴科民电子设备技术有限公司
  • 购置日期：2021-12-01
  • 使用模式：项目委托,按时预约
  • 仪器状态：
仪器生产商： 嘉兴科民电子设备技术有限公司
资产编号： S2112421
资产负责人： 李明泼
购置日期： 2021-12-01
仪器价格： 45.00 万元
仪器产地： 中国
仪器供应商： 嘉兴科民电子设备技术有限公司
购买经办人： 林珊珊
主要配件： ----
主要参数： ----
仪器介绍：
仪器详细信息仪器名称（中文/英文）离子束刻蚀-RIE3
规格型号科民 RIE-100
仪器放置位置文宣楼C202-2
仪器功能介绍本设备主要通过气体放电产生大量化学活性的等离子体，利用离子诱导化学反应来实现各向异性刻蚀。同时，离子在自偏压电场中获得能量，对材料表面产生物理轰击作用。
性能指标1. 刻蚀材料：石墨烯/MoS2 等
2. 样片尺寸：直径100 mm，兼容4英寸及以下尺寸样片与碎片
3. 真空系统：工艺腔本底极限真空度达到5×10-3Pa以上
4. 刻蚀工艺的均匀性：4英寸内≤ ±5%
5. 设备尺寸： ≤1200mm（长）x850mm（宽）x850mm（高）
6. 气体：SF6/CHF3/Ar/O2/N2   6~300sccm
7. 功率：10~500W可调
8. 单次刻蚀时间：不超过2小时
9. 载片方式：Al托盘（水冷）
10.温度控制：无
样品要求1、4寸及以下
2、反应生成物为气体


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工作时间： 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段： 0.5 小时
最大可预约时间段： 168 小时
日历最小单位： 0.5 小时
最近提前预约时间： 未授权用户: 12小时； 普通资格用户: 0.1小时； 资深资格用户: 0小时
最远提前预约时间： 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间： 15 分钟
失约保护时间： 15 分钟
断电延时时间： 30 秒
最短重上电时间： 5 秒
使用超时提醒： 120 秒
最大有效预约次数： 5 次 /天
无代价撤销预约时间： 1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
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