厦门大学国家集成电路产教融合创新平台-等离子清洗机（1楼）

仪器生产商：中国电子科技集团公司第二研究所

资产编号： S2501437

资产负责人：程其进

购置日期： 2025-01-16

仪器价格： 17.00 万元

仪器产地：中国

仪器供应商：中国电子科技集团公司第二研究所

购买经办人：程其进

主要配件： ----

主要参数： 1、等离子体频率：13.56MHz。 2、射频电源功率：（0~600）W可调。 3、基础压力设定范围：（10~50）Pa。 4、工艺气体流量：（0~200）ml/min（标准气压，0°C）。 5、清洗时间控制：1秒~120分钟连续可调。 6、反应仓尺寸：不锈钢L500×W500×H400（mm）。 7、参数配方显示：触摸屏显示可设定50组。 8、控制方式：PLC+触摸屏。

仪器介绍：

利用等离子体中活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的的机器，可应用于厚膜电路、COG前、器件封装前、真空电子、连接器和继电器等产品的精密清洗以及塑料、橡胶、金属和陶瓷等的表面活化。

样品最大尺寸可达12寸。

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工作时间： 09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段： 0.5 小时

最大可预约时间段： 168 小时

日历最小单位： 0.5 小时

最近提前预约时间：未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 24小时

最远提前预约时间：未授权: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点

预约保护时间： 15 分钟

失约保护时间： 15 分钟

断电延时时间： 30 秒

最短重上电时间： 5 秒

使用超时提醒： 120 秒

最大有效预约次数： 5 次 /天

无代价撤销预约时间： 1440 分钟

用户资格	工作时间	非工作时间
未授权资格	免审核	免审核
普通资格	免审核	免审核
资深资格	免审核	免审核

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等离子清洗机（1楼）

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