等离子清洗机

  • 仪器分类：清洗工艺
  • 所属单位：校内 > 电子科学与技术学院
  • 放置房间号：翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C102-2
  • 规格型号：DQX-206N
  • 仪器生产商：中国电子科技集团公司第二研究所
  • 购置日期：2025-01-16
  • 使用模式：----
  • 仪器状态：
仪器生产商:中国电子科技集团公司第二研究所
资产编号:S2501437
资产负责人:熊柳静
购置日期:2025-01-16
仪器价格:17.00 万元
仪器产地:中国
仪器供应商:中国电子科技集团公司第二研究所
购买经办人:程其进
主要配件:----
主要参数:1、等离子体频率：13.56MHz。 2、射频电源功率：（0~600）W可调。 3、基础压力设定范围：（10~50）Pa。 4、工艺气体流量：（0~200）ml/min（标准气压，0°C）。 5、清洗时间控制：1秒~120分钟连续可调。 6、反应仓尺寸：不锈钢L500×W500×H400（mm）。 7、参数配方显示：触摸屏显示可设定50组。 8、控制方式：PLC+触摸屏。
仪器介绍:
主要仪器管理员: 熊柳静(电话:18959205664)
工作时间:09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段:0.5 小时
最大可预约时间段:168 小时
日历最小单位:0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间:15 分钟
失约保护时间:15 分钟
断电延时时间:30 秒
最短重上电时间:5 秒
使用超时提醒:120 秒
最大有效预约次数:5 次/天
无代价撤销预约时间:1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格 需审核 需审核
普通资格 免审核 需审核
资深资格 免审核 免审核
序号 标题 文件数量 添加时间 操作
序号 标题 添加时间 操作

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