仪器分类
全部 光刻工艺 薄膜沉积工艺 刻蚀工艺 热处理工艺 封装工艺 形貌表征 清洗工艺 设计平台
所属单位
全部 电子科学与技术学院
预约模式
全部 按时预约 项目委托

高精密双面对准光刻机 2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:G-33D6
  • 放置房间号:文宣楼C406-2洁净室

精密砂轮划片机2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DS616
  • 放置房间号:文宣楼C202-5洁净室

氧化扩散炉2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:热处理工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:HQ150A-DF
  • 放置房间号:文宣楼C406-5洁净室

原子层沉积机T-ALD3

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-150DB0
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

原子层沉积机T-ALD4

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-150DBN
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

原子层沉积机PE-ALD

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:ALD-150R
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE3

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE4

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机ICP

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:ICP-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

365nmLED紫外光刻机 3

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Lithography-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-1洁净室

365nmLED紫外光刻机 4

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Lithography-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-3洁净室

365nmLED紫外光刻机 5

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Lithography-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-4洁净室

磁控溅射台(PVD)2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室