高精密双面对准光刻机 2

  • 仪器分类：光刻工艺
  • 所属单位：校内 > 电子科学与技术学院
  • 放置房间号：文宣楼C406-2洁净室
  • 规格型号：G-33D6
  • 仪器生产商：成都鑫南光机械设备有限公司
  • 购置日期：2021-06-01
  • 使用模式：按时预约
  • 仪器状态：
仪器生产商:成都鑫南光机械设备有限公司
资产编号:----
资产负责人:李明泼
购置日期:2021-06-01
仪器价格:31.85 万元
仪器产地:中国
仪器供应商:成都鑫南光机械设备有限公司
购买经办人:林珊珊
主要配件:仪器桌，维修工具
主要参数:a、 采用350W直流球形汞灯； b、 出射光斑≤φ116mm； c、 光强≤15mw； d、 光的不均匀性≤±3%； e、 光强度可通过光阑或汞灯电流调节，3～15mw任意调节； f、 曝光时间采用0～999.9秒（日本OMRON生产）时间继电器控制。 g、 对准精度：±0.5μm h、 套刻精度：1μm
仪器介绍:

主要由高精度对准工作台、双目分离视场立式显微镜或双目分离视场卧式显微镜、数字式摄像头、计算机成象记忆系统、6″LED专用曝光头、PLC控制系统、气动系统、真空系统、直联式真空泵、二级防震工作台和附件箱等组成。可双面对准单面曝光，适用于150mm×150mm以下、厚度5mm以下的各种基片(包括非圆形基片)的对准曝光，套刻精度高、速度快，可靠性高且操作简便。



主要仪器管理员: 谭颖玲(电话:15751866591)
仪器管理员: 李明泼(电话:13959278330)
仪器管理员: 戴彬(电话:13695987287)
仪器管理员: 梁冬雪(电话:18850013376)
仪器管理员: 李君兰(电话:18506926816)
工作时间:09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段:0.5 小时
最大可预约时间段:168 小时
日历最小单位:0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 2小时； 普通资格用户: 2小时； 资深资格用户: 2小时
最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间:30 分钟
失约保护时间:30 分钟
断电延时时间:30 秒
最短重上电时间:5 秒
使用超时提醒:120 秒
最大有效预约次数:5 次/天
无代价撤销预约时间:1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格 需审核 需审核
普通资格 需审核 需审核
资深资格 免审核 免审核
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1 G-33型高精密双面光刻机 双面 1 2022-04-14 11:43:02 文件下载
2 G-33型高精密双面光刻机 单面 1 2022-04-14 11:42:38 文件下载
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