仪器分类
全部 光刻工艺 薄膜沉积工艺 刻蚀工艺 热处理工艺 封装工艺 形貌表征 清洗工艺 设计平台
所属单位
全部 电子科学与技术学院
预约模式
全部 按时预约 项目委托
最新 热门

磁控镀膜溅射台

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD
  • 放置房间号:文宣楼C406洁净室

原子层沉积机T-ALD1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-150D
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

等离子去胶机

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Nano
  • 放置房间号:2 > 12 > 33

精密砂轮划片机1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:DS616
  • 放置房间号:文宣楼C202-5洁净室

超高分辨材料沉积喷墨打印机

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SIJ-350
  • 放置房间号:文宣楼C406-4洁净室

丙酮取液器1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:清洗工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:待定
  • 放置房间号:文宣楼C406-1洁净室

氧化扩散炉1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:热处理工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:HQ150A-DF
  • 放置房间号:文宣楼C406-5洁净室

365nmLED紫外光刻机 2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:Lithography-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-2洁净室

等离子深硅刻蚀机

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:HSE M200
  • 放置房间号:文宣楼C406-4洁净室

原子层沉积机T-ALD2 （黎科）

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-150DO
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

乙醇取液器1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:清洗工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:待定
  • 放置房间号:----

丙酮取液器2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:清洗工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:待定
  • 放置房间号:----

乙醇取液器2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:清洗工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:待定
  • 放置房间号:----

365nmLED紫外光刻机 1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:Lithography-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-2洁净室

高精密双面对准光刻机 1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:G-33D6
  • 放置房间号:文宣楼C406-2洁净室