离子刻蚀机ICP

  • 仪器分类：刻蚀工艺
  • 所属单位：校内 > 电子科学与技术学院
  • 放置房间号：文宣楼C202-2洁净室
  • 规格型号：ICP-100
  • 仪器生产商：嘉兴科民电子设备技术有限公司
  • 购置日期：2021-06-01
  • 使用模式：项目委托,按时预约
  • 仪器状态：
仪器生产商:嘉兴科民电子设备技术有限公司
资产编号:----
资产负责人:李明泼
购置日期:2021-06-01
仪器价格:69.00 万元
仪器产地:中国
仪器供应商:嘉兴科民电子设备技术有限公司
购买经办人:林珊珊
主要配件:----
主要参数:Power 380V AC, 50Hz, three-phase, 6.9kw Size of the substrate 4’’ wafer Operating temperature 10 to 40℃ Etching Rate 1.0μm/min(on SiO2) Control route Labview with Touch Screen Etching Gases Number 7 Base Vacuum ＜1×10-5Torr Pneumatic valve Fujikin Diaphragm Valves, Response time 10ms Size(L*W*H) 1450mm*780mm*1234mm
仪器介绍:

预约悉知：

               1、刻蚀新材料需提前与管理员沟通；

               2、预约需先提前告知管理员刻蚀样品形态、掩膜层、截止层及基底材料；

               3、设备主要刻蚀硅基材料，刻蚀非硅基材料（尤其是金属材料），需与管理员沟通确认；



主要仪器管理员: 戴彬(电话:13695987287)
仪器管理员: 李明泼(电话:13959278330)
仪器管理员: 谭颖玲(电话:15751866591)
工作时间:09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段:0.5 小时
最大可预约时间段:168 小时
日历最小单位:0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 12小时； 普通资格用户: 4小时； 资深资格用户: 0小时
最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间:15 分钟
失约保护时间:15 分钟
断电延时时间:30 秒
最短重上电时间:5 秒
使用超时提醒:120 秒
最大有效预约次数:5 次/天
无代价撤销预约时间:1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格 需审核 需审核
普通资格 需审核 需审核
资深资格 免审核 免审核
序号 标题 文件数量 添加时间 操作
序号 标题 添加时间 操作

  • 待审核

  • 预约有效

  • 预约完成

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  • 预约被占用

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