仪器分类
全部 光刻工艺 薄膜沉积工艺 刻蚀工艺 热处理工艺 封装工艺 形貌表征 清洗工艺 设计平台
所属单位
全部 电子科学与技术学院
预约模式
全部 按时预约 项目委托

氧化扩散炉1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:热处理工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:HQ150A-DF
  • 放置房间号:文宣楼C406-5洁净室

氧化扩散炉2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:热处理工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:HQ150A-DF
  • 放置房间号:文宣楼C406-5洁净室

快速退火炉1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:热处理工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:待定
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

快速退火炉2 (李君兰)

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:热处理工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:待定
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室