厦门大学国家集成电路产教融合创新平台-磁控镀膜溅射台

仪器生产商：待定

资产编号： 1706772G

资产负责人：李明泼

购置日期： 2021-06-03

仪器价格： 10.00 万元

仪器产地：中国

仪器供应商： ----

购买经办人：林珊珊

主要配件：机械真空泵，分子泵，取样夹具

主要参数：衬底尺寸：工艺温度：本底真空：射频电源功率：均匀性误差：

仪器介绍：

磁控溅射是物理气相沉积的一种，是用带荷粒子轰击靶材表面，使靶材的原子被击出、进而沉积在基体表面成膜，具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强的优点

您未登录!请登录后查看

工作时间： 09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段： 0.5 小时

最大可预约时间段： 168 小时

日历最小单位： 0.5 小时

最近提前预约时间：未授权用户: 6小时；普通资格用户: 6小时；资深资格用户: 6小时

最远提前预约时间：未授权: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点

预约保护时间： 30 分钟

失约保护时间： 30 分钟

断电延时时间： 30 秒

最短重上电时间： 5 秒

使用超时提醒： 120 秒

最大有效预约次数： 5 次 /天

无代价撤销预约时间： 1440 分钟

您未登录!请登录后查看

序号	标题	添加时间	操作

磁控镀膜溅射台