匀胶显影机

  • 仪器分类：光刻工艺
  • 所属单位：校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 放置房间号：翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C406
  • 规格型号：显影单元，EZ6-S匀胶单元，HP10烤胶单元
  • 仪器生产商：江苏雷博科学仪器有限公司
  • 购置日期：2021-12-13
  • 使用模式：----
  • 仪器状态：
仪器生产商:江苏雷博科学仪器有限公司
资产编号:S2113360
资产负责人:熊柳静
购置日期:2021-12-13
仪器价格:9.80 万元
仪器产地:中国
仪器供应商:江苏雷博科学仪器有限公司
购买经办人:龙浩
主要配件:通风橱、匀胶机、烤胶机
主要参数:a、转速可控范围：100-12000RPM，转速分辨率：1RPM。 b、最大单步步长3000S，旋转时间分辨率0.1S。 c、加速度可控范围：100-30000RPM/S。 d、可处理碎片（小于1cm）至6英寸（150mm）圆晶底物。 e、4.3寸全彩触摸屏，提供触屏笔操作，中英文界面可选。 f、可进行多步程序运行，最多可存储10组10步程序。 g、HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔，带排废功能。 h、100W直流无刷电机，宽电压适用：AC100-230V输入。 i、带真空和盖子开关互锁功能，确保操作安全。 j、标配三种规格铝合金真空载物盘（直径10mm、25mm、55mm）。 k、防堵胶功能设计，真空通道进胶安全保护功能。
仪器介绍:

无需预约直接使用

主要仪器管理员: 熊柳静(电话:18959205664)
工作时间:09:00-11:30;14:30-17:30
最小可预约时间段:0.25 小时
最大可预约时间段:168 小时
日历最小单位:0.25 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数:5 次/天
无代价撤销预约时间:1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格 免审核 免审核
普通资格 免审核 免审核
资深资格 免审核 免审核
序号 标题 文件数量 添加时间 操作
1 匀胶烤胶预培训操作视频 1 2025-12-23 17:09:51 文件下载
2 烤胶机产品说明书 1 2025-12-23 15:46:12 文件下载
3 匀胶机产品说明书 1 2025-12-23 15:45:43 文件下载
序号 标题 添加时间 操作

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