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离子刻蚀机ICP

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:ICP-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

磁控溅射台（PVD）5

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

等离子深硅刻蚀机

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:HSE M200
  • 放置房间号:文宣楼C406-4洁净室

超高分辨材料沉积喷墨打印机

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SIJ-350
  • 放置房间号:文宣楼C406-4洁净室

原子层沉积机T-ALD1

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  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-150D
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE３

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  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

磁控溅射台（PVD）4

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

磁控镀膜溅射台

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD
  • 放置房间号:文宣楼C406洁净室

原子层沉积机T-ALD2 （丁清哲）

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-150DO
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

原子层沉积机PE-ALD

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:ALD-150R
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

等离子去胶机

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:光刻工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Nano
  • 放置房间号:2 > 12 > 33

晶圆级键合机

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:EVG510
  • 放置房间号:文宣楼C406-5洁净室

快速退火炉1

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  • 仪器分类:热处理工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:待定
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

FIB-SEM双束聚焦扫描电镜系统 （李明泼）

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:形貌表征
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SOLARIS
  • 放置房间号:----

化学机械抛光机

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  • 仪器分类:封装工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:GX-468
  • 放置房间号:文宣楼C202-5洁净室