化学机械抛光机

  • 仪器分类：封装工艺
  • 所属单位：校内 > 电子科学与技术学院
  • 放置房间号：文宣楼C202-5洁净室
  • 规格型号：GX-468
  • 仪器生产商：GMCS
  • 购置日期：2020-10-20
  • 使用模式：项目委托,按时预约
  • 仪器状态：
仪器生产商:GMCS
资产编号:----
资产负责人:李明泼
购置日期:2020-10-20
仪器价格:119.00 万元
仪器产地:中国
仪器供应商:吉姆西半导体科技（无锡）有限公司
购买经办人:林珊珊
主要配件:----
主要参数:抛光头转速：0-150rpm 抛光头转速精度：+/-1 rpm 抛光盘转速：0-200rpm 抛光盘转速精度：+/-1 rpm 修整器转速：0-150rpm 修整器转速精度：+/-1 rpm 修整器进给量：+/-50mm 修整器进给量精度：+/-0.1mm 修整器压力控制：0-20磅 抛光头进给量：4寸时+/-50mm 抛光头进给量精度：+/-0.1mm 抛光液流速：蠕动泵控制：0~300ml/min 去离子水流速：0~300ml/min MM/IT/RR气压调节范围：0~15Psi MM/IT/RR气压控制精度：+/-0.1 Psi
仪器介绍:

GX468化学机械抛光机是利用抛光液中化学药剂软化晶圆材料表面、利用抛光液中细微颗粒去除晶圆表面软化后的材料，配合机台物理转动、高精度压力给，从而达到晶圆平坦化的目的。抛光盘直径 508mm，可支持主流抛光垫；抛光头三区高精度力控制，目前可提供 4/6/8寸晶圆的抛光头；机台支持两路抛光液独立供液；支持6寸晶圆自动上下片作业，4/8寸晶圆手动上下片作业；可调节更好的表面平坦化效果。适用于硅、铜、LT\LN，氧化层、氮化硅、钨等工艺抛光。


主要仪器管理员: 梁冬雪(电话:18850013376)
仪器管理员: 李明泼(电话:13959278330)
仪器管理员: 谭颖玲(电话:15751866591)
仪器管理员: 戴彬(电话:13695987287)
工作时间:09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段:0.5 小时
最大可预约时间段:168 小时
日历最小单位:0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间:15 分钟
失约保护时间:15 分钟
断电延时时间:30 秒
最短重上电时间:5 秒
使用超时提醒:120 秒
最大有效预约次数:5 次/天
无代价撤销预约时间:1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格 需审核 需审核
普通资格 需审核 需审核
资深资格 免审核 免审核
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