仪器生产商:TESCAN

资产负责人:朱丽虹

购置日期:2020-12-04

仪器价格:648.60 万元

仪器产地:捷克

购买经办人:朱丽虹

主要配件:Triglav™ 电子镜筒 Orage™ 离子镜筒 Delmic 阴极荧光光谱仪

主要参数:电子光学: 电子枪: 高亮度肖特基场发射枪 分辨率: In-Beam SE：0.6nm @ 15 kV，0.9 nm @ 1 kV In-Beam f-BSE: 1.6 nm @ 15 kV STEM: 0.5nm @ 30 kV 放大倍数（30kV）: 5倍– 2,000,000倍 视野范围：4.3 mm @ WD分析=5 mm ；7 mm @ WD=30 mm 着陆电压: 50 eV - 30 keV 探针电流: 2 pA - 400 nA 离子光学: 离子镜筒: Orage™ 分辨率: < 2.5 nm @ 30 kV (在SEM-FIB的重合点) 放大倍数: 重合点最小倍数为150 倍 @ 10 kV （相应的视场宽度为1 mm），最大倍数1,000,000 倍 离子束能量: 0.5 keV - 30 keV 离子源: 镓（Ga）液态金属离子源 探针电流: < 1 pA - 100 nA SEM-FIB重合点: SEM工作距离为5 mm，FIB工作距离为12 mm SEM-FIB夹角: 55° 标配气体 铂金属沉积 Delmic 阴极荧光光谱仪 --UV(200-700) --VIS-IR(300-950) * CL光强成像采用PMT光电倍增管，响应范围：185-870nm, 帧率>800fps。 *科学级sCMOS相机，用于收集镜自动对准、角分辨成像和可见光光谱成像，光谱响应范围 350–950 nm，QE峰值>60%@600nm。 * 针对紫外优化背照式CCD相机，采用TE制冷，像素>1024x128，量子效率>60%，光谱响应范围185-700nm。