厦门大学国家集成电路产教融合创新平台-磁控镀膜溅射台

仪器生产商:待定

资产编号:----

资产负责人:李明泼

购置日期:2021-06-03

仪器价格:10.00 万元

仪器产地:中国

仪器供应商:----

购买经办人:林珊珊

主要配件:机械真空泵，分子泵，取样夹具

主要参数:衬底尺寸：工艺温度：本底真空：射频电源功率：均匀性误差：

仪器介绍:

磁控溅射是物理气相沉积的一种，是用带荷粒子轰击靶材表面，使靶材的原子被击出、进而沉积在基体表面成膜，具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强的优点

主要仪器管理员: 李秋红(电话:18959211296)

仪器管理员: 李明泼(电话:13959278330)

仪器管理员: 谭颖玲(电话:15751866591)

仪器管理员: 戴彬(电话:13695987287)

工作时间:09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段:0.5 小时

最大可预约时间段:168 小时

日历最小单位:0.5 小时

最近提前预约时间: 未授权用户: 6小时；普通资格用户: 6小时；资深资格用户: 6小时

最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点

预约保护时间:30 分钟

失约保护时间:30 分钟

断电延时时间:30 秒

最短重上电时间:5 秒

使用超时提醒:120 秒

最大有效预约次数:5 次/天

无代价撤销预约时间:1440 分钟

序号	标题	文件数量	添加时间	操作

序号	标题	添加时间	操作

磁控镀膜溅射台