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最新 热门

磁控溅射台（PVD）4

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

磁控溅射台（PVD）5

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

MPCVD

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:MW652
  • 放置房间号:文宣楼C406洁净室

氧化物磁控溅射系统

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TRP450
  • 放置房间号:----

全自动热原子层沉积系统

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Polaris A630
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C102

12英寸原子层沉积设备

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-300D
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C102-2

微波等离子体化学气相沉积系统

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TL7501
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C102-2

手套箱

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:STX-1800，1600；Super
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C101

手套箱

校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:STX-1800，1600；Super
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C101

等离子深硅刻蚀机 （戴彬）

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:HSE M200
  • 放置房间号:文宣楼C406-4洁净室

离子刻蚀机RIE1 （戴彬）

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE２ （戴彬）

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE３ （戴彬）

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE４ （戴彬）

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机ICP

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:ICP-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室