快速退火炉1

  • 仪器分类：热处理工艺
  • 所属单位：校内 > 电子科学与技术学院
  • 放置房间号：文宣楼C406-3洁净室
  • 规格型号：RTP-150-EP-HT
  • 仪器生产商：UNTEMP(Universal Temperature Process)
  • 购置日期：2021-12-01
  • 使用模式：项目委托,按时预约
  • 仪器状态：
仪器生产商:UNTEMP(Universal Temperature Process)
资产编号:S2216943
资产负责人:李明泼
购置日期:2021-12-01
仪器价格:52.50 万元
仪器产地:德国
仪器供应商:----
购买经办人:林珊珊
主要配件:石墨底盘 支持真空，氮气气氛，氢氮混合气气氛
主要参数:适用硅片：150mm(6寸)；100mm（4寸）； 腔体大小：225mm*40mm*190mm(W*H*D)； 最高温度：1000℃（限制3min）；1100℃（限制60s）；1200℃（限制30s）； 降温速率：-3.3K/s(400℃~1200℃)；-0.5K/s(100℃~400℃)； 最大升温速率：20K/s 温控均匀性：≤1%设定温度； 加热方式：红外卤素灯2*21kW，顶部及底部加热 气氛：氮气、氢氮混合气体
仪器介绍:

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工作时间:09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段:0.5 小时
最大可预约时间段:168 小时
日历最小单位:0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 12小时； 资深资格用户: 0小时
最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间:30 分钟
失约保护时间:30 分钟
断电延时时间:30 秒
最短重上电时间:5 秒
使用超时提醒:120 秒
最大有效预约次数:5 次/天
无代价撤销预约时间:1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格 禁止预约 禁止预约
普通资格 需审核 需审核
资深资格 免审核 免审核
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