仪器分类
全部 光刻工艺 波谱类、分析类仪器 薄膜沉积工艺 刻蚀工艺 热处理工艺 封装工艺 形貌表征 清洗工艺 设计平台
所属单位
全部 电子科学与技术学院
预约模式
全部 按时预约 项目委托
最新 热门

原子层沉积机PE-ALD

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:ALD-150R
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

磁控溅射台（PVD）1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

磁控溅射台（PVD）2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

磁控溅射台（PVD）3

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

磁控溅射台（PVD）4

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

磁控溅射台（PVD）5

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

MPCVD

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:MW652
  • 放置房间号:文宣楼C406洁净室

等离子深硅刻蚀机 （戴彬）

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:HSE M200
  • 放置房间号:文宣楼C406-4洁净室

离子刻蚀机RIE1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE２

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE３

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机RIE４

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RIE-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

离子刻蚀机ICP

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:刻蚀工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:ICP-100
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

氧化扩散炉1 （程浩然）

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:热处理工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:HQ150A-DF
  • 放置房间号:文宣楼C406-5洁净室

氧化扩散炉2 （李明泼）

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:热处理工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:HQ150A-DF
  • 放置房间号:文宣楼C406-5洁净室