磁控溅射台（PVD）3

  • 仪器分类：薄膜沉积工艺
  • 所属单位：校内 > 电子科学与技术学院
  • 放置房间号：文宣楼C406-3洁净室
  • 规格型号：PVD-100
  • 仪器生产商：嘉兴科民电子设备技术有限公司
  • 购置日期：2021-12-01
  • 使用模式：项目委托,按时预约
  • 仪器状态：
仪器生产商:嘉兴科民电子设备技术有限公司
资产编号:----
资产负责人:李明泼
购置日期:2021-12-01
仪器价格:30.00 万元
仪器产地:中国
仪器供应商:嘉兴科民电子设备技术有限公司
购买经办人:林珊珊
主要配件:机械真空泵，分子泵，取样夹具 rf1: Ti靶 rf2: Al靶
主要参数:衬底尺寸：最大4英寸 工艺温度：室温〜300°C 本底真空：≤7×10-7Torr 射频电源功率：10~500W 均匀性误差：±5%
仪器介绍:

磁控溅射是物理气相沉积的一种，是用带荷粒子轰击靶材表面，使靶材的原子被击出、进而沉积在基体表面成膜，具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强的优点。PVD-100磁控溅射台配置有高性能真空泵，人性化的图形化操作界面，操作简便，适用范围广，可用于多种材料的溅射镀膜研发，如Au、Ag、Pt、Ti、Al、Si、氧化物等。



主要仪器管理员: 梁冬雪(电话:18850013376)
仪器管理员: 李明泼(电话:13959278330)
仪器管理员: 谭颖玲(电话:15751866591)
仪器管理员: 戴彬(电话:13695987287)
仪器管理员: 李君兰(电话:18506926816)
工作时间:09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段:0.5 小时
最大可预约时间段:168 小时
日历最小单位:0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 12小时； 普通资格用户: 12小时； 资深资格用户: 0小时
最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间:30 分钟
失约保护时间:30 分钟
断电延时时间:30 秒
最短重上电时间:5 秒
使用超时提醒:120 秒
最大有效预约次数:5 次/天
无代价撤销预约时间:1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格 需审核 需审核
普通资格 需审核 需审核
资深资格 免审核 免审核
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