仪器分类
全部 光刻工艺 波谱类、分析类仪器 薄膜沉积工艺 刻蚀工艺 热处理工艺 封装工艺 形貌表征 清洗工艺 设计平台
所属单位
全部 电子科学与技术学院
预约模式
全部 按时预约 项目委托

磁控镀膜溅射台

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD
  • 放置房间号:文宣楼C406洁净室

原子层沉积机T-ALD1 (彭君豪)

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-150D
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

超高分辨材料沉积喷墨打印机

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SIJ-350
  • 放置房间号:翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C406

原子层沉积机T-ALD2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-150DO
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

原子层沉积机T-ALD3

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-150DB0
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

原子层沉积机T-ALD4

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TALD-150DBN
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

原子层沉积机PE-ALD (李秀婷)

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:ALD-150R
  • 放置房间号:文宣楼C202-2洁净室

磁控溅射台(PVD)1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

磁控溅射台(PVD)2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

磁控溅射台(PVD)3

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

磁控溅射台(PVD)4

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

磁控溅射台(PVD)5

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PVD-100
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

MPCVD

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  • 仪器分类:薄膜沉积工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:MW652
  • 放置房间号:文宣楼C406洁净室