超声波清洗机

  • 仪器分类：清洗工艺
  • 所属单位：校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 放置房间号：翔安翔安校区主楼四号楼C406()
  • 规格型号：TM80-4M
  • 仪器生产商：苏州泰拓精密清洗设备有限公司
  • 购置日期：2025-10-16
  • 使用模式：项目委托,按时预约
  • 仪器状态： （陈宇航）
仪器生产商:苏州泰拓精密清洗设备有限公司
资产编号:S2509008
资产负责人:李君兰
购置日期:2025-10-16
仪器价格:26.99 万元
仪器产地:中国
仪器供应商:厦门广微达科技有限公司
购买经办人:程其进
主要配件:四个模块：超声+喷流清洗，超声+喷流清洗，喷淋漂洗，热风烘干
主要参数:超声+喷流清洗 设定时间：10-20min;设定温度：40-60℃；加热功率：2KW；超声波参数：40kHz,1.5kw;过滤精度：10/5um 超声+喷流漂洗 设定时间：5-10min;设定温度：40-50℃；加热功率：2KW；超声波参数：40kHz,1.5kw;过滤精度：10/5um 喷淋漂洗 设定时间：5-10min;设定温度：40-50℃；加热功率：2KW；喷淋压力：0.4-0.6MPa;过滤精度：5um 热风烘干 设定时间：10-20min;设定温度：60-90℃；加热功率：3KW
仪器介绍:

可用于半导体工艺过程的清洗，例如晶圆助焊剂的清洗，确保晶圆上的清洁，减少线路因污染源而造成的短路等不良后果。

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工作时间:09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段:0.5 小时
最大可预约时间段:168 小时
日历最小单位:0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间:15 分钟
失约保护时间:15 分钟
断电延时时间:30 秒
最短重上电时间:5 秒
使用超时提醒:120 秒
最大有效预约次数:5 次/天
无代价撤销预约时间:1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格 免审核 免审核
普通资格 免审核 免审核
资深资格 免审核 免审核
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