厦门大学国家集成电路产教融合创新平台-12英寸原子层沉积设备

仪器生产商：嘉兴科民电子设备技术有限公司

资产编号： S2511260

资产负责人：谭颖玲

购置日期： 2025-12-01

仪器价格： 533.17 万元

仪器产地：中国

仪器供应商：嘉兴科民电子设备技术有限公司

购买经办人：许荣彬

主要配件： ----

主要参数： 1.可实现Cu、Ru、TiN、AlN、SiO2、Al2O3等五种以上材料生长,可实现高深宽比结构如TSV及TGV的填充； 2.工艺温度：室温–500°C，控制精度在±1 ℃； 3.膜厚均匀性（片内）：≤±1% (12英寸)；膜厚重复性（片间）：≤±3%； 4.膜厚控制精度±1Å； 5.Cu、Ru、TiN、AlN、SiO2 台阶覆盖率Step coverage (sidewall)＞90%（深宽比Aspect ratio≥ 10:1, 孔径尺寸Aperature size≤5μm）。

仪器介绍：

可实现Cu、Ru、TiN、AlN、SiO2、Al2O3等五种以上材料生长,可实现高深宽比结构如TSV及TGV的填充

样品要求：

1.样片直径可为12英寸、8英寸或不规则碎片；

2.样片应提供详细的样品说明（包括衬底材质、尺寸、表面状况等）和制样要求（包括沉积膜种类、膜厚度、沉积温度、成膜性能要求等）。

您未登录!请登录后查看

工作时间： 09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段： 0.5 小时

最大可预约时间段： 168 小时

日历最小单位： 0.5 小时

最近提前预约时间：未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 24小时

最远提前预约时间：未授权: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点

预约保护时间： 15 分钟

失约保护时间： 15 分钟

断电延时时间： 30 秒

最短重上电时间： 5 秒

使用超时提醒： 120 秒

最大有效预约次数： 5 次 /天

无代价撤销预约时间： 1440 分钟

用户资格	工作时间	非工作时间
未授权资格	需审核	需审核
普通资格	免审核	需审核
资深资格	免审核	免审核

您未登录!请登录后查看

序号	标题	添加时间	操作

待审核
预约有效
预约完成
预约失约
预约被占用

12英寸原子层沉积设备

使用指南 more>>

FAQmore>>