全自动热原子层沉积系统

  • 仪器分类：C102
  • 所属单位：校内 > 电子科学与技术学院 > 微电子与集成电路系
  • 放置房间号：翔安校区 > 翔安校区主楼四号楼 > C102
  • 规格型号：Polaris A630
  • 仪器生产商：北京北方华创微电子装备有限公司
  • 购置日期：2025-10-13
  • 使用模式：项目委托,按时预约
  • 仪器状态：
仪器生产商： 北京北方华创微电子装备有限公司
资产编号： S2510863
资产负责人： 谭颖玲
购置日期： 2025-10-13
仪器价格： 921.08 万元
仪器产地： 中国
仪器供应商： 北京北方华创微电子装备有限公司
购买经办人： 许荣彬
主要配件： Polaris A630 ALD 设备包括工艺模块（PM: Process Module）、传输模块（TM: Transfer Module）和 Facility 模块（Facility）。
主要参数： 1.工艺温度：室温–500°C，控制精度在±5 ℃；源瓶加热温度：50-130℃ 2.膜厚均匀性（片内）：≤±2% (8英寸)；膜厚重复性（片间）：≤±1.5%； 3.膜厚控制精度±1Å； 4.可实现HfO、ZrO、AlO、TaO四种材料的生长。
仪器介绍：

Polaris A630 ALD 设备包括工艺模块（PM: Process Module）、传输模块（TM: Transfer Module）和 Facility 模块（Facility）。晶片在工艺模块内可以完成 ALD HiK（HfO、ZrO、AlO、TaO）薄膜沉积。传输模块安装有机械手，可以实现晶片在Load Port 和各工艺模块之间的传输，能够迅速准确的将晶片传输到工艺模块中。Polaris A630 ALD设备具备智能化的软件操作系统，可以实现自动化生产。 

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工作时间： 09:00-12:00;14:00-17:30
最小可预约时间段： 0.5 小时
最大可预约时间段： 168 小时
日历最小单位： 0.5 小时
最近提前预约时间： 未授权用户: 12小时； 普通资格用户: 1小时； 资深资格用户: 1小时
最远提前预约时间： 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间： 15 分钟
失约保护时间： 15 分钟
断电延时时间： 30 秒
最短重上电时间： 5 秒
使用超时提醒： 120 秒
最大有效预约次数： 5 次 /天
无代价撤销预约时间： 1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格 禁止预约 禁止预约
普通资格 需审核 禁止预约
资深资格 禁止预约 免审核
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