厦门大学国家集成电路产教融合创新平台-台阶膜厚仪

仪器生产商： Bruker公司

资产编号： S2308785

资产负责人：戴彬

购置日期： 2022-10-12

仪器价格： 26.95 万元

仪器产地：德国

仪器供应商：铂悦仪器（上海）有限公司

购买经办人： ----

主要配件： 1、配置2um半径的探针1根； 2、相应的原装数据分析软件一套，终身软件免费升级

主要参数： 1、分辨率：6.5μm量程下为0.1nm 2、台阶高度重复性：0.4nm，1sigma在1μm台阶上 3、信号采集点：最多可达120000数据点 4、扫描长度：55mm 5、量程：高度方向最大量程为1mm

仪器介绍：

仪器名称	手动台阶轮廓及薄膜应力测试仪（Dektak XT）
仪器状态	在用
规格型号	Bruker Dektak XT
仪器放置位置	厦门大学翔安校区文宣楼C406-3
仪器功能介绍	1、薄膜测试，可对纳米级别膜层厚度或台阶高度进行准确测量。 2、表面粗糙度检测。
性能指标	1、分辨率：6.5μm量程下为0.1nm 2、台阶高度重复性：0.4nm，1sigma在1μm台阶上 3、信号采集点：最多可达120000数据点 4、扫描长度：55mm 5、量程：高度方向最大量程为1mm
样品要求	1、样品无强磁性。 2、样品表面无液体成分。 3、样品底部及表面相对平整，无明显的变形弯曲。 4、样品整体厚度<5cm 5、超过3个月未独立操作，需重新考核

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工作时间： 09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段： 0.25 小时

最大可预约时间段： 168 小时

日历最小单位： 0.25 小时

最近提前预约时间：未授权用户: 48小时；普通资格用户: 0小时；资深资格用户: 0小时

最远提前预约时间：未授权: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点

预约保护时间： 15 分钟

失约保护时间： 15 分钟

断电延时时间： 30 秒

最短重上电时间： 5 秒

使用超时提醒： 120 秒

最大有效预约次数： 5 次 /天

无代价撤销预约时间： 1440 分钟

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台阶膜厚仪