基本信息

  • 生产厂商 嘉兴科民电子设备技术有限公司
  • 资产编号
  • 资产负责人 李明泼
  • 购置日期2021-12-01
  • 仪器价格30.00 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商嘉兴科民电子设备技术有限公司
  • 购买经办人林珊珊
  • 主要配件 机械真空泵,分子泵,取样夹具 rf1: Ti靶 rf2: Al靶
  • 主要参数衬底尺寸:最大4英寸 工艺温度:室温〜300°C 本底真空:≤7×10-7Torr 射频电源功率:10~500W 均匀性误差:±5%

仪器介绍

磁控溅射是物理气相沉积的一种,是用带荷粒子轰击靶材表面,使靶材的原子被击出、进而沉积在基体表面成膜,具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强的优点。PVD-100磁控溅射台配置有高性能真空泵,人性化的图形化操作界面,操作简便,适用范围广,可用于多种材料的溅射镀膜研发,如Au、Ag、Pt、Ti、Al、Si、氧化物等。