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[2022-04-28] 实验室停电、停工艺冷却水通知
[2022-03-20] 实验室暂停开放
[2021-10-29] 国家集成电路产教融合创新平台仪器共享服务系统试运行通知
[2021-12-01] 深硅刻蚀机培训
[2021-12-02] 原子层沉积设备培训
[2022-01-21] 寒假开放时间安排
[2022-04-12] 实验室正常开放通知
[2022-04-22] 实验室停电、停工艺冷却水通知
[2022-06-13] 关于试行国家集成电路产教融合创新平台贵重仪器设备开放使用与收费实施细则的通知
[2023-01-13] 平台暂停开放通知
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