基本信息

  • 生产厂商 沈阳和研科技有限公司
  • 资产编号
  • 资产负责人 李明泼
  • 购置日期2021-06-01
  • 仪器价格22.65 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商沈阳和研科技有限公司
  • 购买经办人林珊珊
  • 主要配件 用于切割硅片,1mm以内
  • 主要参数主轴转速范围:10000~50000rpm 主轴前后行程:170mm(分辨率:0.0005mm、单步定位精度:≦0.003mm/5mm、全程定位精度:≦0.005mm/170mm) 主轴上下行程:30mm(分辨率0.001mm 、重复定位精度:0.001mm) 工作台左右行程:240mm(分辨率:0.001mm、速度设定范围:0.1~400mm/s) 转角范围:380º 转角分辨率:0.0002º 加工尺寸:φ160mm或□150mm 切槽深度:≦4mm或定制 工作台平整度:±0.005mm/150mm

仪器介绍

精密划片机是半导体领域中的封装设备,也是精密切割专用设备,可精密切割的材料有硅片、陶瓷、玻璃、石英等。利用高速空气静压电主轴带动刀片高速旋转,工件位于切割区域之上,通过预先登记好的位置校准数据,先找出被加工物上的mark标记,然后对齐目标和调整角度,最终计算出切割道的位置。该设备标配图像识别自动对准功能、非接触测高功能(NCS)、刀片破损检测功能(BBD)、刀痕检测功能,并可根据需求做定制化模块。该划片机应用于二极管、三极管、MEMS、IC、LED、NTC、光伏、医疗器械、闪烁晶体、光学领域。