基本信息

  • 生产厂商 待定
  • 资产编号
  • 资产负责人 李明泼
  • 购置日期2021-06-03
  • 仪器价格10.00 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人林珊珊
  • 主要配件 机械真空泵，分子泵，取样夹具
  • 主要参数衬底尺寸： 工艺温度： 本底真空： 射频电源功率： 均匀性误差：

仪器介绍

磁控溅射是物理气相沉积的一种，是用带荷粒子轰击靶材表面，使靶材的原子被击出、进而沉积在基体表面成膜，具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强的优点