| 仪器名称 | 自动型台阶轮廓及薄膜应力测试仪（Dektak XT） |
| 仪器状态 | 在用 |
| 规格型号 | Bruker Dektak XT |
| 仪器放置位置 | 厦门大学翔安校区文宣楼C406洁净室3 |
| 仪器功能介绍 | 1、薄膜测试，可对纳米级别膜层厚度或台阶高度进行准确测量。 2、表面粗糙度检测，适用于汽车、航空、医疗设备等多行业精密零部件的表面粗糙度常规鉴定。 |
| 性能指标 | 1、分辨率：6.5μm量程下为0.1nm 2、台阶高度重复性：0.4nm，1sigma在1μm台阶上 3、信号采集点：最多可达120000数据点 4、扫描长度：55mm 5、量程：高度方向最大量程为1mm |
| 样品要求 | 1、样品无强磁性。 2、样品表面无液体成分。 3、样品底部及表面相对平整，无明显的变形弯曲。 4、样品整体厚度<5cm |
