TESCAN SOLARIS是一款镓离子源的FIB-SEM系统，适用于超薄TEM样品制备和其它具有挑战性的纳米加工任务，这些任务要求设备具有最佳的分辨率、最先进的离子光学系统和最好的纳米加工能力。TESCAN SOLARIS配置的Triglav™ 型 SEM镜筒具有超高的分辨率，特别是在低电压下；镜筒内探测器系统具有电子信号过滤接收的能力，为获得更好的图像衬度和表面灵敏度翻开了全新的篇章。TESCAN SOLARIS配置的Orage™型FIB镜筒提供不仅为纳米加工提供了最佳的精度，还可以提供很高的离子束流，因此可以满足大体积加工和分析的需求。TESCAN SOLARIS具有出色的低电压下离子束分辨率和性能，可很好的完成制备小于20nm、最佳质量的半导体器件超薄TEM样品等困难工作。此外，高达100 nA的大离子束流可以对生物样品和材料进行指定位置、大体积的FIB-SEM三维重构，并且图像具有出色的衬度。TESCAN SOLARIS使用了全新的Essence™ 软件，该软件用户界面友好，可以满足各类应用需求，可定制的布局以及自动化的样品制备软件功能模块，旨在能最大限度地提升操作便捷性和工作效率。