基本信息
- 生产厂商 UNTEMP(Universal Temperature Process)
- 资产编号
- 资产负责人 李明泼
- 购置日期2021-12-01
- 仪器价格52.50 万元
- 仪器产地德国
- 仪器供应商
- 购买经办人林珊珊
- 主要配件 石墨底盘
支持真空，氮气气氛，氢氮混合气气氛
- 主要参数适用硅片：150mm(6寸)；100mm（4寸）；
腔体大小：225mm*40mm*190mm(W*H*D)；
最高温度：1000℃（限制3min）；1100℃（限制60s）；1200℃（限制30s）；
降温速率：-3.3K/s(400℃~1200℃)；-0.5K/s(100℃~400℃)；
最大升温速率：20K/s
温控均匀性：≤1%设定温度；
加热方式：红外卤素灯2*21kW，顶部及底部加热
气氛：氮气、氢氮混合气体
