等离子深硅刻蚀机

等离子深硅刻蚀机

  • 仪器分类 刻蚀工艺
  • 仪器状态
  • 所属单位 校内 > 电子科学与技术学院
  • 仪器生产商 北方华创科技集团股份有限公司
  • 购置日期 2021-06-01
  • 使用模式 项目委托,按时预约
  • 规格型号 HSE M200
  • 放置房间号 文宣楼C406-4洁净室

使用指南

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FAQ

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