仪器预览

手套箱

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李鑫

手套箱

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李鑫

微波等离子体化学气相沉积系统

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梁冬雪

12英寸原子层沉积设备

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许荣彬

全自动热原子层沉积系统

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许荣彬

氮原子源

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YANG WEIFEN

氧化物磁控溅射系统

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YANG WEIFEN

MPCVD

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谭颖玲

磁控溅射台（PVD）5

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梁冬雪

磁控溅射台（PVD）4

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梁冬雪

磁控溅射台（PVD）3

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梁冬雪

磁控溅射台（PVD）2

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梁冬雪

磁控溅射台（PVD）1

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梁冬雪

原子层沉积机PE-ALD

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谭颖玲

原子层沉积机T-ALD4

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谭颖玲

原子层沉积机T-ALD3

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谭颖玲