主要由高精度对准工作台、双目分离视场立式显微镜或双目分离视场卧式显微镜、数字式摄像头、计算机成象记忆系统、6″LED专用曝光头、PLC控制系统、气动系统、真空系统、直联式真空泵、二级防震工作台和附件箱等组成。可双面对准单面曝光，适用于150mm×150mm（6寸）以下、厚度5mm以下的各种基片(包括非圆形基片)的对准曝光，套刻精度高、速度快，可靠性高且操作简便。

曝光的片能真空吸附到承片台上，尺寸需要大于Φ12mm。