基本信息

  • 生产厂商 苏州泰拓精密清洗设备有限公司
  • 资产编号 S2509008
  • 资产负责人 李君兰
  • 购置日期2025-10-16
  • 仪器价格26.99 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商厦门广微达科技有限公司
  • 购买经办人程其进
  • 主要配件 四个模块：超声+喷流清洗，超声+喷流清洗，喷淋漂洗，热风烘干
  • 主要参数超声+喷流清洗 设定时间：10-20min;设定温度：40-60℃；加热功率：2KW；超声波参数：40kHz,1.5kw;过滤精度：10/5um 超声+喷流漂洗 设定时间：5-10min;设定温度：40-50℃；加热功率：2KW；超声波参数：40kHz,1.5kw;过滤精度：10/5um 喷淋漂洗 设定时间：5-10min;设定温度：40-50℃；加热功率：2KW；喷淋压力：0.4-0.6MPa;过滤精度：5um 热风烘干 设定时间：10-20min;设定温度：60-90℃；加热功率：3KW

仪器介绍

可用于半导体工艺过程的清洗，例如晶圆助焊剂的清洗，确保晶圆上的清洁，减少线路因污染源而造成的短路等不良后果。