基本信息
- 生产厂商 中国电子科技集团公司第二研究所
- 资产编号 S2501437
- 资产负责人 程其进
- 购置日期2025-01-16
- 仪器价格17.00 万元
- 仪器产地中国
- 仪器供应商中国电子科技集团公司第二研究所
- 购买经办人程其进
- 主要配件
- 主要参数1、等离子体频率：13.56MHz。
2、射频电源功率：（0~600）W可调。
3、基础压力设定范围：（10~50）Pa。
4、工艺气体流量：（0~200）ml/min（标准气压，0°C）。
5、清洗时间控制：1秒~120分钟连续可调。
6、反应仓尺寸：不锈钢L500×W500×H400（mm）。
7、参数配方显示：触摸屏显示可设定50组。
8、控制方式：PLC+触摸屏。
