仪器分类
全部 光刻工艺 波谱类、分析类仪器 薄膜沉积工艺 刻蚀工艺 热处理工艺 封装工艺 形貌表征 清洗工艺 设计平台
所属单位
全部 电子科学与技术学院
预约模式
全部 按时预约 项目委托

快速退火炉1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:热处理工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:待定
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

快速退火炉2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:热处理工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:待定
  • 放置房间号:文宣楼C406-3洁净室

精密砂轮划片机1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:DS616
  • 放置房间号:文宣楼C202-5洁净室

精密砂轮划片机2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DS616
  • 放置房间号:文宣楼C202-5洁净室

化学机械抛光机

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:GX-468
  • 放置房间号:文宣楼C202-5洁净室

晶圆级键合机

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:EVG510
  • 放置房间号:文宣楼C406-5洁净室

硅片减薄机1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:FD-150
  • 放置房间号:文宣楼C202洁净室

硅片减薄机2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:FD-150
  • 放置房间号:文宣楼C202洁净室

超声波压焊机1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Eagle
  • 放置房间号:文宣楼C406洁净室

超声波压焊机2

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:封装工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Eagle
  • 放置房间号:文宣楼C406洁净室

正置金相显微镜

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:形貌表征
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:RX50M
  • 放置房间号:文宣楼C406-2洁净室

FIB-SEM双束聚焦扫描电镜系统 (朱丽虹)

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:形貌表征
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SOLARIS
  • 放置房间号:----

探针式轮廓仪(台阶仪) (方明超)

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:形貌表征
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DEKTAKXT
  • 放置房间号:文宣楼C406-3

丙酮取液器1

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  • 仪器分类:清洗工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:待定
  • 放置房间号:文宣楼C406-1洁净室

乙醇取液器1

校内 > 电子科学与技术学院

  • 仪器分类:清洗工艺
  • 所属单位:校内 > 电子科学与技术学院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:待定
  • 放置房间号:----