洁净室-光刻间日常行为规范

为保证洁净室光刻间各项工艺顺利开展、确保实验人员人身安全，维持仪器设备平稳安全可靠地运行，保持光刻间洁净度，特制定此规范，要求实验人员严格遵守。

1、除光刻工艺相关工作人员外，其他人员遇实验需要方可进入光刻间，工作完成后马上离开，禁止在光刻间逗留。

2、光刻间内，禁止擦拭头、脸等部位，时刻保持防尘帽把头发全部遮住，不要把外套暴露在洁净服外。

3、禁止在光刻间内更换口罩、手套，如有特殊需要，脱下手套后应减少在光刻间停留时间，并且尽快戴上新手套。

4、严禁将任何毛巾拿入光刻间，隔热、擦拭等需使用洁净布。

5、光刻胶从冰箱中取出或放入时，动作快而不乱；严禁在通风橱外开启胶瓶；涂胶后没有烘烤的样片禁止放在通风橱外。

6、若滴瓶里的光刻胶过期或需倒掉的，要倒入洁净室专用的废液回收瓶并放在通风橱里，回收瓶废液统一转移至清洗间专门的废液回收桶中。

7、涂胶严格按操作要求，若光刻胶滴落在通风橱内需及时使用酒精棉或者无尘布擦拭干净；涂胶后及时清洗被光刻胶污染的吸盘，及时更换涂胶机腔体内部保鲜袋。

8、显影要在专用的通风橱里进行，按需倒入适量显影液，严禁浪费；显影结束后普通显影液（特殊显影液要回收）倒入水槽，并清洗盛装显影液的器皿，清洗干净后倒扣在台面上。

9、涂胶后、显影后应立即更换一次性手套，严禁用未更换的一次性手套操作其他设备；若使用非一次性丁晴手套或橡胶手套，请在丁晴手套或橡胶手套外加套一次性手套，并及时更换。

10、请根据样片大小选择适当的片托，小样片涂胶后务必用丙酮清洗片托及通道。

11、光刻间桌面如产生物质颗粒需马上用干净湿润的洁净布擦拭，每日工作完毕后需用干净湿润的洁净布擦拭。

12、热板的温度不可随便调节，除非特殊情况并在使用完后恢复到原来的温度。

13、最后离开光刻间的人员务必确认热板、水、气体等处于关闭状态，凳子归位，通风橱保持下拉状态，垃圾清理到指定位置，保持台面整洁，方可离开。