厦门大学国家集成电路产教融合创新平台-探针式轮廓仪（台阶仪）

仪器生产商:Bruker公司

资产编号:----

资产负责人:----

购置日期:2022-10-12

仪器价格:26.95 万元

仪器产地:德国

仪器供应商:铂悦仪器（上海）有限公司

购买经办人:----

主要配件:1、配置2um半径的探针1根； 2、相应的原装数据分析软件一套，终身软件免费升级

主要参数:1、分辨率：6.5μm量程下为0.1nm 2、台阶高度重复性：0.4nm，1sigma在1μm台阶上 3、信号采集点：最多可达120000数据点 4、扫描长度：55mm 5、量程：高度方向最大量程为1mm

仪器介绍:

仪器名称	自动型台阶轮廓及薄膜应力测试仪（Dektak XT）
仪器状态	在用
规格型号	Bruker Dektak XT
仪器放置位置	厦门大学翔安校区文宣楼C406洁净室3
仪器功能介绍	1、薄膜测试，可对纳米级别膜层厚度或台阶高度进行准确测量。 2、表面粗糙度检测，适用于汽车、航空、医疗设备等多行业精密零部件的表面粗糙度常规鉴定。
性能指标	1、分辨率：6.5μm量程下为0.1nm 2、台阶高度重复性：0.4nm，1sigma在1μm台阶上 3、信号采集点：最多可达120000数据点 4、扫描长度：55mm 5、量程：高度方向最大量程为1mm
样品要求	1、样品无强磁性。 2、样品表面无液体成分。 3、样品底部及表面相对平整，无明显的变形弯曲。 4、样品整体厚度<5cm

主要仪器管理员: 戴彬(电话:13695987287)

仪器管理员: 李明泼(电话:13959278330)

仪器管理员: 谭颖玲(电话:15751866591)

仪器管理员: 吴艺雄(电话:13023954409)

仪器管理员: 梁冬雪(电话:18850013376)

仪器管理员: 李君兰(电话:18506926816)

工作时间:09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段:0.5 小时

最大可预约时间段:168 小时

日历最小单位:0.5 小时

最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时；普通资格用户: 4小时；资深资格用户: 0小时

最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点

预约保护时间:15 分钟

失约保护时间:15 分钟

断电延时时间:30 秒

最短重上电时间:5 秒

使用超时提醒:120 秒

最大有效预约次数:5 次/天

无代价撤销预约时间:1440 分钟

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探针式轮廓仪（台阶仪）