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2023-04-06 17:27
此操作指南同样适用于快速退火炉2号机，两者的区别在于可提供的气体氛围的不同以及托盘的材质不同。 【5月4日版本更新说明】修改了说明书第八项“主要参数”中关于最大升温速率与降温速率的描述，增加托盘材质与热处理气氛的条目。由于2号机托盘为碳化硅-石墨复合板，两者的热膨胀系数不一致导致其不能承受太高的升温速率，否则会导致崩裂。相关参数详见使用指南，实验时请严格遵守。
| 文件名称 | 格式 | 大小 | |
|---|---|---|---|
| 快速退火炉操作指南.pdf | 66KB | 【下载】 |